特許
J-GLOBAL ID：200903020775068830
ホルダ装置および前記ホルダ装置が装着される試料ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237576
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068049
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課 題】 試料ステージ上のホルダ支持部材に装着された複数の各試料ホルダを、各試料ホルダの中心線回りに回転させること。【解決手段】 XYテーブル(32)を有する試料ステージ(31)に設けたホルダ装置装着部(33)に着脱可能に装着される被装着部(3)とホルダ装置搬送棒に連結される搬送棒連結部(4a)とを有するホルダ支持部材(2)と、前記ホルダ支持部材(2)に回転自在に支持された複数の試料ホルダ(11-1〜11-4)と、試料ホルダ(11-1〜11-4)を回転駆動するホルダ回転駆動装置と、前記被装着部(3)が前記ホルダ装置装着部(33)に着脱されたときステージ側コネクタ(34)と接続または離脱するホルダ側コネクタ(24)と、前記ホルダ側コネクタ(24)から前記ホルダ回転駆動装置に回転駆動用の電力を給電可能な給電用接続部材(24a)とを備えたホルダ装置。
請求項（抜粋）：
下記(A01)〜(A05)の要件を備えたことを特徴とするホルダ装置、(A01)XYテーブルを有する試料ステージに設けたホルダ装置装着部に着脱可能に装着される被装着部と、ホルダ装置搬送棒に連結される搬送棒連結部とを有するホルダ支持部材、(A02)前記ホルダ支持部材に回転自在に支持された複数の試料ホルダ、(A03)前記ホルダ支持部材に支持されて、前記複数の各試料ホルダを回転駆動するホルダ回転駆動装置、(A04)前記試料ステージの上面に沿って搬送される前記ホルダ支持部材の被装着部が前記試料ステージのホルダ装置装着部に着脱可能に装着されたときに前記試料ステージのステージ側コネクタと接続し、前記ホルダ装置装着部から前記被装着部が離脱したときに前記ステージ側コネクタから離脱するホルダ側コネクタ、(A05)前記ホルダ側コネクタから前記回転駆動装置に回転駆動用の電力を給電可能な給電用接続部材。
Fターム (4件)：
5C001AA01
, 5C001AA02
, 5C001AA03
, 5C001CC04
