特許

J-GLOBAL ID：200903020785567818

干渉縞測定解析方法

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008806
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201326
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【目的】 波長可変型光源を観察用光源とした干渉計装置において、所定の光学面と基準面(被測定面)の光学的距離を、基準面と被測定面の光学的距離に比し所定倍以上の値となるように設定し、インテグラル・バケット法を用いてフリンジスキャンを行うことで、干渉縞解析データ中から干渉縞ノイズを排除する。【構成】 波長可変型光源を観察用光源とし、コリメータレンズ表面と、基準面または被測定面との光学的距離L1を、基準面と被測定面との光学的距離L2に比して所定倍以上の大きな値となるように設定し、出力光の波長λを略λ2/mL1(mは取り込む画像の枚数)ずつ異なる範囲毎に連続的に変化せしめるとともに、撮像手段により干渉縞画像を連続的に撮像し、該撮像して得られた複数の干渉縞画像情報に対して、インテグラル・バケット法を用いた演算処理を施して干渉縞解析を行う。

請求項（抜粋）：

出力光の波長λを時間的に変化させ得る光源と、該光源からの光束を平行光束とした後基準面上および被測定面上に導く光学系と、該基準面および該被測定面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置を用い、前記出力光の波長λを略λ2/mL(mは取り込む画像の枚数、Lは前記基準面と前記被測定面との光軸上での光学的距離)ずつ変化させる毎に、前記撮像手段により干渉縞画像を撮像し、該撮像して得られた複数の干渉縞画像情報に対し、所定の演算処理を施し、得られた縞位相変化に基づき干渉縞解析を行う干渉縞測定解析方法において、前記光学系のうち所定の光学面と、前記基準面または前記被測定面との光軸上での光学的距離L1を、前記基準面と前記被測定面との光学的距離L2に比して所定倍以上の大きな値となるように設定し、前記出力光の波長λを、略λ2/mL1ずつ異なる範囲毎に連続的に変化せしめ、該範囲毎に所定期間(但し、2π/mよりも小さい位相変化範囲に相当する)に亘って前記撮像手段により干渉縞画像を連続的に撮像し、その撮像により得られた該範囲毎のデータを下式(1)に代入して干渉縞画像情報Ii(x,y)を得、得られた干渉縞画像情報Ii(x,y)に対して、前記所定の演算処理を施して干渉縞解析を行うことを特徴とする干渉縞測定解析方法。【数1】

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K

Fターム (28件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064BB05 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064EE04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF08 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA53 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065DD04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ31

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-297807
  
• 特開平4-038410
  
• 特開平4-297808
  
• フリンジスキャニング干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-165172   出願人：ソニー株式会社