特許

J-GLOBAL ID：200903020801223539

超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法

発明者： 亀谷 真理 ,  小堀 大二郎 ,  梅香 明子
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 畑中 芳実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-220138
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165049
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 超純水中に含まれる微粒子数を測定する際に使用される微粒子捕捉用濾過膜に付着している汚染微粒子を効果的に除去することができ、したがって微粒子捕捉時における濾過膜への超純水の通水量の低減、濾過時間の短縮を図ることができる洗浄方法を提供する。【解決手段】 濾過膜の洗浄水として超純水に水素ガスを溶解してなる水素溶解水を用いる。さらに好ましくは、?@洗浄水への超音波照射、?A洗浄水の加温、?B洗浄水の加温及び洗浄水への超音波照射、?C洗浄水のpH調整、?D洗浄水のpH調整及び洗浄水への超音波照射、?E洗浄水のpH調整及び加温、又は、?F洗浄水のpH調整及び加温並びに洗浄水への超音波照射を行う。これらの場合、洗浄水への超音波照射では波長0.8〜3MHzの超音波を用いることが好ましい。また、洗浄水の加温では洗浄水を30〜100°Cに加温し、洗浄水のpH調整ではpHをアルカリ側にする。

請求項（抜粋）：

超純水に水素ガスを溶解してなる水素溶解水により超純水中の微粒子捕捉用濾過膜を洗浄することを特徴とする超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法。

IPC (3件)：

B01D 65/06 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44

FI (3件)：

B01D 65/06 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第3357241号
  
• メンブレンフィルター表面の異物除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-076181   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
• 膜分離装置の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-299709   出願人：オルガノ株式会社