特許

J-GLOBAL ID：200903020805434046

光ファイバ用母材の製造方法及び製造装置

発明者： 荻野 剛 ,  小出 弘行 ,  島田 忠克 ,  平沢 秀夫
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247040
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072431
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 配管内ガスの温度、特にMFC流入直前のガス温度を一定に制御して、MFCでの流量制御精度を大幅に向上させることにより、ロット内及びロット間の多孔質母材やプリフォームの特性変動を最小限に抑制した光ファイバ用母材の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 光ファイバ用母材4の製造工程において、ガス供給系に設けられた質量流量制御器12に供給されるガスの温度を一定に制御することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

光ファイバ用母材の製造工程において、ガス供給系に設けられた質量流量制御器に供給されるガスの温度を一定に制御することを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 37/018 ,  G02B 6/00 356

FI (2件)：

C03B 37/018 Z ,  G02B 6/00 356 A

Fターム (4件)：

4G021EA01 ,  4G021EB06 ,  4G021EB13 ,  4G021EB26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-067243
  
• 液体原料気化供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-074866   出願人：株式会社サヤマ, 日立金属商事株式会社
• 特開昭64-067243