有機ハロゲン化合物分解装置及びその運転制御方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319560
公開番号（公開出願番号）：特開2002-193842
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】水蒸気供給時における放電管の溶融破損を有効に防止する。【解決手段】装置系内に供給したアルゴンガスをプラズマ化させた後であって、フロンガスの供給開始に先だって実行される水蒸気の供給開始前に、エアーの供給を開始する。また、水蒸気の供給開始後に一時停止していたアルゴンガスの供給をフロンガスの供給開始前に再開する一方で、フロンガスの供給開始と同時にエアーの供給を停止する。

請求項（抜粋）：

有機ハロゲン化合物を含むガスにマイクロ波のエネルギーを投入することによって熱プラズマを生成し、該熱プラズマ中で有機ハロゲン化合物を水蒸気と反応させて分解する有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法において、装置系内に供給した希ガスをプラズマ化させた後であって、前記有機ハロゲン化合物の供給開始に先だって実行される前記水蒸気の供給開始前に、プラズマ炎を絞るアシストガスの供給を開始することを特徴とする有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法。

IPC (4件)：

C07B 35/06 , A62D 3/00 ZAB , B01J 19/08 , C07B 37/06

FI (4件)：

C07B 35/06 , A62D 3/00 ZAB , B01J 19/08 E , C07B 37/06

Fターム (23件)：

2E191BA12 , 2E191BB00 , 2E191BC01 , 2E191BD18 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075AA42 , 4G075AA62 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075CA26 , 4G075CA48 , 4G075CA51 , 4G075CA63 , 4G075DA02 , 4G075DA05 , 4G075EB21 , 4G075ED08 , 4H006AA04 , 4H006AA05 , 4H006AC13 , 4H006AC26 , 4H006BA95

引用特許：

審査官引用 (10件)

プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-321234 出願人：三菱重工業株式会社
有機ハロゲン化合物の分解方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-362064 出願人：日本電子株式会社
特開平2-131116

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