特許
J-GLOBAL ID：200903020809606461

基板貼り合わせ装置

発明者：
高橋 崇史

高橋 崇史 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-055066
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255293
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】【課題】 基板貼り合わせ装置において、密閉容器の減圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置の駆動精度を損なうことなく、上下の基板の位置合わせ精度を向上させること。【解決手段】 上ガラス基板1を保持する上ステージ51と、下ガラス基板2を保持する下ステージ52と、上ステージ51と下ステージ52が配置される密閉空間25を区画形成する密閉容器20と、圧力調整装置60による密閉容器20内の圧力の減圧下にて上ガラス基板1と下ガラス基板2とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置10であって、上ステージ51と下ステージ52とを少なくとも基板の面方向で相対移動させる移動装置40を有し、移動装置40が密閉容器20とは独立に架台11に支持されてなるもの。
請求項（抜粋）：
上基板を保持する上ステージと、下基板を保持する下ステージと、上ステージと下ステージが配置される密閉空間を区画形成する密閉容器と、密閉容器内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による密閉容器内の圧力の減圧下にて上基板と下基板とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、上ステージと下ステージとを少なくとも基板の面方向で相対移動させる移動装置を有し、移動装置が、密閉容器とは独立に架台に支持される基板貼り合わせ装置。
IPC (3件)：
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 350
FI (3件)：
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 350 Z
Fターム (22件)：
2H088FA01 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H089LA41 ,  2H089NA39 ,  2H089NA44 ,  2H089NA45 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435LL06 ,  5G435LL07 ,  5G435LL08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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