特許
J-GLOBAL ID：200903020813293664
配線パターンを有する磁気ヘッド用サスペンション素子の製造方法と製造設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132466
公開番号（公開出願番号）：特開平10-320736
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 サスペンション素子の製造方法および製造設備に関し、複数の処理部によってワーク部材を処理する場合に、処理部の処理能力が互いに異なっても連続処理を可能にすること。【解決手段】 表面に複数本の配線導体のパターンを有する磁気ヘッド用サスペンション素子を製造するに際し、該サスペンション素子の基体となる帯状の金属シートをロール状に巻回した状態で準備し、前記金属シートをワーク部材としてその表面に所定パターンの領域を定めて複数のサスペンション素子とその配線導体を一連体として形成するよう当該ワーク部材に複数段階のパターニング処理を順次加える方法をとり、かつ前記パターニング処理のための個々の処理部間でのワーク部材の受渡しをロール状に巻回した状態で行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
表面に複数本の配線導体のパターンを有する磁気ヘッド用サスペンション素子を製造するに際し、該サスペンション素子の基体となる帯状の金属シートをロール状に巻回した状態で準備し、前記金属シートをワーク部材としてその表面に所定パターンの領域を定めて複数のサスペンション素子とその配線導体を一連体として形成するよう当該ワーク部材に複数段階のパターニング処理を順次加える方法をとり、かつ前記パターニング処理のための個々の処理部間でのワーク部材の受渡しをロール状に巻回した状態で行うことを特徴とする配線パターンを有する磁気ヘッド用サスペンション素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/60 P
, G11B 21/21 C
