特許
J-GLOBAL ID：200903020836691551
ダイシング用粘着シート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400681
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203816
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハ等の被切断物の歩留まりがよく、しかもダイシング時のチッピングの発生を防止することができるダイシング用粘着シートを提供すること、さらには当該ダイシング用粘着シートを用いたダイシング方法を提供すること。【解決手段】 基材フィルム上に下塗り層を介して粘着剤層が設けられたダイシング用粘着シートにおいて、前記下塗り層の20°Cにおける引張破断伸度が300%以下であることを特徴とするダイシング用粘着シート。
請求項（抜粋）：
基材フィルム上に下塗り層を介して粘着剤層が設けられたダイシング用粘着シートにおいて、前記下塗り層の20°Cにおける引張破断伸度が300%以下であることを特徴とするダイシング用粘着シート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C09J 7/02 Z
, H01L 21/78 M
4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004CD01
, 4J004FA05
