画像処理アライメント装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061195
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256351
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】単一の解像度の撮像装置から得た画像に基づいて対象物の所定の位置に位置決めする場合、撮像装置の解像度が低いと位置決めの精度が低くなり、撮像装置の解像度が高いと、視野が狭くなり、対象物が入力画像になく位置を検出できないおそれがある。【解決手段】低解像度の撮像装置201と高解像度の撮像装置210とを備え、それらの画像データを同時に入力する。はじめに低解像度の画像を用いて大まかな位置決めを行い、次に低解像度の画像を用いて詳細な位置決めを行う。

請求項（抜粋）：

位置決め対象が設置されるステージと、前記位置決め対象を映す第1の撮像装置と、前記位置決め対象を映す第2の撮像装置と、前記第1の撮像装置が出力する第1の画像データと前記第2の撮像装置が出力する前記第1の画像データよりも高解像度の第2の画像データを取り込む入力回路と、前記取り込んだ第1の画像データと第2の画像データとを記憶する画像メモリと、前記第1の撮像装置が映す位置決め対象に対応する第1の画像データ用基準パターンとその登録位置及び前記第2の撮像装置が映す位置決め対象に対応する第2の画像データ用基準パターンとその登録位置を予め記憶する基準パターン用メモリと、前記画像メモリが記憶する第1の画像データと前記第1の画像データ用基準パターンとの間のパターンマッチングと前記画像メモリが記憶する第2の画像データと前記第2の画像データ用基準パターンとの間のパターンマッチングとのいずれかを行い前記ステージの移動量を計算する演算回路とを有する画像処理装置と、前記画像処理装置が出力する前記ステージの移動量に基づいて前記ステージの移動を制御するステージ制御装置と、を具備することを特徴とする画像処理アライメント装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , G01B 11/00 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , H01L 21/52

FI (6件)：

H01L 21/68 F , G01B 11/00 F , G01B 11/00 H , H01L 21/52 C , G06F 15/62 405 C , G06F 15/64 340 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-290040
自動位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-201628 出願人：株式会社ニコン
特開昭59-054236

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審査官引用 (4件)

特開平2-290040
自動位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-201628 出願人：株式会社ニコン
特開昭59-054236

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