特許
J-GLOBAL ID：200903020862842630

感光性絶縁樹脂組成物及びその硬化物並びにそれを備える電子部品

発明者：
伊藤 淳史

伊藤 淳史 について

, 
後藤 宏文

後藤 宏文 について

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佐々木 寛文

佐々木 寛文 について

, 
奥田 隆一

奥田 隆一 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 小島 清路 ,  萩野 義昇 ,  谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-174454
公開番号（公開出願番号）：特開2008-077057
出願日： 2007年07月02日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】g線、h線に対する感度が良好であり、且つ解像性、電気絶縁性、熱衝撃性等の諸特性に優れた表面保護膜、層間絶縁膜、平坦化膜を形成しうる感光性絶縁樹脂組成物、及びその硬化物並びにその硬化物を備える電子部品を提供する。【解決手段】本感光性絶縁樹脂組成物は、(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)下式(1)で表されるs-トリアジン誘導体からなる感放射線性酸発生剤と、(C)架橋剤と、を含有する。 〔Rは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のアルコキシル基、Xはハロゲン原子、Yは酸素原子又は硫黄原子を示す。〕【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)下記一般式(1)で表されるs-トリアジン誘導体からなる感放射線性酸発生剤と、(C)架橋剤と、を含有することを特徴とする感光性絶縁樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (15件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE08 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開昭54-145794号公報
  • 特開平03-186847号公報
  • i線用感光性組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-145143   出願人：旭化成工業株式会社
審査官引用 (4件)
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