特許

J-GLOBAL ID：200903020863784804

ドレッサー及びこれを用いたドレッシング装置

発明者： 小林 達宜 ,  田中 弘志 ,  大和田 勇夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131784
公開番号（公開出願番号）：特開2001-315053
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】【課題】 経済的に使用できるドレッサー及びこれを用いたドレッシング装置を提供する。【解決手段】 ドレッサー21を、大略円盤形状をなすドレッサー本体22と、ドレッサー本体22とは別体にして設けられるドレス作用部23とによって構成する。ドレッサー21に、ドレッサー本体22に対してドレス作用部23を着脱を可能にして保持する保持手段を設ける。

請求項（抜粋）：

被研磨材を研磨する研磨パッドの目立てに用いられるドレッサーであって、ドレッサー本体と、該ドレッサー本体とは別体にして設けられるドレス作用部と、該ドレス作用部を前記ドレッサー本体に着脱を可能にして保持する保持手段とを有していることを特徴とするドレッサー。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (7件)：

3C047BB01 ,  3C047BB16 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 正面フライス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-033166   出願人：東芝タンガロイ株式会社
• ドレッサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-144727   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社