特許

J-GLOBAL ID：200903020870406645

ガラス製測定テーブル

発明者： 河野 克巳 ,  畠山 直樹
出願人/特許権者： 株式会社ソキア
代理人 (1件)： 八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183861
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033207
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 平面度の調整ができるガラス製測定テーブルの提供。【解決手段】 測定テーブルは、ほぼ同じ厚みを有し、略正方形状に形成され、上下方向に積層される一対の上,下ガラス板10,12 と、ガラス板10,12 の外周縁部を支持する枠体14とを有している。上,下ガラス板10,12 の中央部分には、複数の第1平面度調整機構Aが設けられるとともに、枠体14が上,下ガラス板10,12 を支持する延出部14a には、複数の第2平面度調整機構Bが設けられている。第1平面度調整機構Aは、上ガラス板10を上下方向に移動させるものであって、ガラス板10,12 の中心と、この中心に対して、点対称となる位置に4箇所設けられている。第2平面度調整機構Bは、周方向に沿って設けられた複数のスリット孔14d により複数に分割された部分にそれぞれ配設されている。

請求項（抜粋）：

平板状ガラス板と、このガラス板の外周縁を支持する枠体と、この枠体を支持する脚部とを備えたガラス製測定テーブルにおいて、前記ガラス板は、相互に積層された少なくとも一対の上,下ガラス板を有し、前記上,下ガラス板の中央部分に設けられ、前記上ガラス板を上下方向に移動させる第1平面度調整機構と、前記枠体に設けられ、この枠体が前記上,下ガラス板を支持する部分を上下方向に移動させる複数の第2平面度調整機構とを備えたことを特徴とするガラス製測定テーブル。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-172148
  
• パターン転写装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-287231   出願人：日本電気株式会社