特許

J-GLOBAL ID：200903020945131825

荷電粒子線照射装置

発明者： 影山 甲子男 ,  兼岡 則幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-259805
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は試料の視野選択を部品間の接触を避けつつ効率的に行うのに適した荷電粒子線照射装置を提供することにある。【解決手段】試料傾斜(R)機構7及びZ移動機構6はモータ13で駆動され、演算制御装置17で制御される。また、エンコーダ15からのパルスを座標カウンタ16はカウントし、これを演算制御装置17に読み込む。試料の移動範囲に相互に干渉しあう軸として対物レンズ9と試料2面の距離Zと試料の傾斜角度Tがある。このZ、T軸のどちらか一方を駆動してこれがその移動可能範囲(許容範囲)の限界に達したとき、もう片方の軸は前記駆動が実現できるような方向へ自動的に駆動される。

請求項（抜粋）：

試料に荷電粒子線を照射する照射手段と、その照射によって前記試料から発生する信号を検出する検出手段と、前記試料を移動させる移動手段とを備え、該移動手段は前記試料を前記照射手段の光軸に関して傾斜させると共にその光軸の方向に移動させる手段を含み、前記移動手段は、前記試料の傾斜及び移動の一方を実行してその一方がその許容範囲の限界に達したとき、他方をその許容範囲内において自動的に実行させることを特徴とする荷電粒子線照射装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/252 B

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭61-220256
  
• 荷電粒子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-243477   出願人：日本電子株式会社