金属銅の気相での化学的被着のための、新しい銅(▲I▼)前駆物質

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西正悟
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-539311
公開番号（公開出願番号）：特表2001-514644
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：

【要約】本発明は、銅が1つのβ-ジケトネートに配位されており、配位子は、支持するわずかに電子求引性をもつ1つ又は2つの基により部分的にその3重結合が不活性化されているアルキンである、銅の蒸気相での化学的被着のための配位子により安定化された酸化状態(+1)にある銅の配位錯体に関する。

請求項（抜粋）：

という一般式(I)をもつ銅の蒸気相での化学的被着のための配位子により安定化された酸化状態(+1)にある銅の酸位錯体において、上記式中、同一のもの又は異なるものであるR'及びR"は、フッ素といったような単数又は複数のハロゲン原子によって場合により置換される低級アルキルであり、Rは、水素原子、フッ素といったハロゲン原子、場合によってフッ素といった単数又は複数のハロゲン原子によって置換される低級アルキルの中から選ばれ、Lは前記錯体の安定化用配位子を表わし、Lは、支持するわずかに電子求引性をもつ1つ又は2つの基により部分的にその3重結合が不活性化されているアルキンであることを特徴とする銅の配位錯体。

IPC (3件)：

C07F 1/08 , C23C 16/18 , H01L 21/285

FI (3件)：

C07F 1/08 B , C23C 16/18 , H01L 21/285 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭58-018392

引用文献：

審査官引用 (3件)

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