硬質皮膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-082955
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292835
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】水環境下において優れた潤滑性および耐摩耗性を有する硬質皮膜を提供する。【解決手段】(1) (M1-x ,Six )(C1-d Nd )を含んでなる硬質皮膜であって、Mは周期律表3A、4A、5A族、6A族の元素およびAlから選択される1種以上の元素であると共に、0.45≦x≦0.98、0≦d≦1(ただし、xはSiの原子比、1-xはMの原子比、dはNの原子比、1-dはCの原子比を示すものである)であることを特徴とする水環境中で優れた潤滑性および耐摩耗性を発揮する硬質皮膜、(2) 前記硬質皮膜において酸素を原子比で0.01〜0.2 含有するもの等。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

(M1-x ,Six )(C1-d Nd )を含んでなる硬質皮膜であって、Mは周期律表3A、4A、5A族、6A族の元素およびAlから選択される1種以上の元素であると共に、 0.45≦x≦0.98 0≦d≦1 (ただし、xはSiの原子比、1-xはMの原子比、dはNの原子比、1-dはCの原子比を示すものである)であることを特徴とする水環境中で優れた潤滑性および耐摩耗性を発揮する硬質皮膜。

IPC (2件)：

C23C30/00 , C23C14/06

FI (3件)：

C23C30/00 C , C23C14/06 L , C23C14/06 M

Fターム (22件)：

3C046FF11 , 3C046FF16 , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029BA54 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029BD05 , 4K029CA06 , 4K029DC16 , 4K044AA03 , 4K044AA13 , 4K044AB10 , 4K044BA11 , 4K044BA18 , 4K044BB01 , 4K044BC01 , 4K044CA13

引用特許：

審査官引用 (9件)

硬質層被覆切削工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-191241 出願人：三菱マテリアル株式会社
被覆硬質工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-063233 出願人：日立ツール株式会社
超薄膜積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-278411 出願人：住友電気工業株式会社

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