特許
J-GLOBAL ID：200903020998115937

検査装置及び方法

発明者：
中村 豊一

中村 豊一 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-134085
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308513
出願日： 2005年05月02日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】 サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。【解決手段】 ニポウディスク120を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サンプルの検査対象の箇所に加熱用レーザを照射して加熱し検出用レーザを集光させ前記検出用レーザの反射光を利用して前記サンプルの熱物性値を導出する検査装置であって、 合焦時の前記サンプル上のスポットと共役な位置にピンホールを配置してなる共焦点光学系を備え、 複数の前記ピンホールから、前記サンプルの複数のスポットに、少なくとも前記検出用レーザを集光し、前記サンプルの前記複数のスポットからの前記検出用レーザの反射光に基づき、前記サンプルの前記複数のスポットにおける熱物性値を採取可能としてなる、ことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01N 25/72 ,  G01J 5/00 ,  G01J 5/48
FI (4件)：
G01N25/72 G ,  G01J5/00 B ,  G01J5/00 101C ,  G01J5/48 A
Fターム (51件)：
2G040AA05 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA27 ,  2G040CA01 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040DA12 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC04 ,  2G040HA02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051CD06 ,  2G051DA05 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  2G066AC20 ,  2G066BA14 ,  2G066BC15 ,  2G066BC21 ,  2G066CA01 ,  2G066CA04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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