特許
J-GLOBAL ID：200903034367307690
薄膜熱物性測定法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 佳直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-283735
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117286
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】不透明な基板上に成膜した薄膜の熱物性値の測定法の提供。【解決手段】レーザー熱物性顕微鏡を用いて基板の熱物性値が既知の薄膜材料の薄膜の特性時間に対する加熱光変調周波数Hと位相遅れδの関係(δ-H曲線)を測定するステップと、このステップにおいて極大値又は極小値を持つδ-H曲線を求めるステップと、極大値又は極小値を持つδ-H曲線から極値をとる点における位相遅れを求めるステップと、予め計算された熱浸透率比と極値をとる点における位相遅れの関係を用いて、極大値又は極小値を持つδ-H曲線から求めた極値をとる点における位相遅れに対する熱浸透率比を求めるステップとから成る。
請求項（抜粋）：
レーザー熱物性顕微鏡を用いて基板の熱物性値が既知の薄膜材料の薄膜の特性時間に対する加熱光変調周波数Hと位相遅れδの関係(δ-H曲線)を測定するステップと、
前記ステップにおいて極大値又は極小値を持つδ-H曲線を求めるステップと、
前記極大値又は極小値を持つδ-H曲線から極値をとる点における位相遅れを求めるステップと、
予め計算された熱浸透率比と極値をとる点における位相遅れの関係を用いて、前記ステップで求めた位相遅れから熱浸透率比を求めるステップと、
から成る薄膜熱物性測定法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N25/18 H
, G01N21/47 Z
2G040AA00
, 2G040AB08
, 2G040BA08
, 2G040BA21
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040CB12
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC02
, 2G040ZA05
, 2G059AA03
, 2G059BB10
, 2G059EE02
, 2G059FF03
, 2G059FF08
, 2G059GG01
, 2G059GG06
, 2G059HH01
, 2G059JJ02
, 2G059JJ13
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM04
