特許

J-GLOBAL ID：200903021006435907

金属酸化物分散体

発明者： 丸山 睦弘
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-028936
公開番号（公開出願番号）：特開2005-220402
出願日： 2004年02月05日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】 低温での加熱処理によって、基材の上に低い体積抵抗値の金属薄膜の形成が可能な金属酸化物分散体、及び製造方法の提供。【解決手段】 多価アルコールと、少なくとも一つの末端が非極性基である平均分子量が150〜600の直鎖状脂肪族ポリエーテル化合物からなる混合物中に、一次粒径が100nm以下の金属酸化物微粒子が分散されている金属酸化物分散体を、基板上に塗布し加熱処理する。【選択図】 選択図なし。

請求項（抜粋）：

多価アルコールと、少なくとも一つの末端がアルキル基である平均分子量が150〜600の直鎖状脂肪族ポリエーテル化合物からなる混合物中に、一次粒径が100nm以下の金属酸化物微粒子が分散されている金属酸化物分散体。

IPC (4件)：

C23C20/04 ,  H01B13/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/288

FI (4件)：

C23C20/04 ,  H01B13/00 503Z ,  H01L21/28 B ,  H01L21/288 Z

Fターム (25件)：

2H092HA06 ,  2H092KA19 ,  2H092MA10 ,  2H092MA22 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  4K022AA01 ,  4K022AA11 ,  4K022AA42 ,  4K022BA01 ,  4K022BA08 ,  4K022BA35 ,  4K022DA06 ,  4K022DA09 ,  4K022DB01 ,  4K022EA01 ,  4M104BB04 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104DD86 ,  5G301DA23 ,  5G301DA42 ,  5G301DD01 ,  5G301DD02 ,  5G323AA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第2561537号明細書
  
• 微粒子分散ぺースト及びこれを用いた金属膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-290524   出願人：三ツ星ベルト株式会社
• 国際公開第03/051562号パンフレット