特許

J-GLOBAL ID：200903021010519473

炭化ケイ素ウエーハを製造する方法及び4H炭化ケイ素のウエーハ

発明者： クロード・グレイ・サッグ・ジュニアー ,  ジョン・アダム・エドモンド
出願人/特許権者： クリー リサーチ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004891
公開番号（公開出願番号）：特開平9-193137
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 ダイアモンドソーを用いる場合のように、機械的な応力及び損傷を生ずることなく、炭化ケイ素ブールから炭化ケイ素ウエーハを製造するための方法を提供する。【解決手段】 本方法は以下の工程を備える。すなわち、導電性を有するに十分なようにドープされた4H炭化ケイ素のブールに隣接して、ワイヤ電極を位置決めする工程。ブールとワイヤとの間に水の流れを維持する工程。ブールとワイヤとの間に放電アークを生じさせるに十分な電流を、ワイヤ電極に周期的に与える工程。電流を周期的に与えながら、ブールを横断するようにワイヤを動かし、これにより、ブールから4H炭化ケイ素のウエーハをスライスする工程。

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素ブールから炭化ケイ素ウエーハを製造する方法であって、導電性を有するに十分なようにドープされた4H炭化ケイ素のブールに隣接して、ワイヤ電極を位置決めする工程と、前記ブールとワイヤとの間に水の流れを維持する工程と、前記ブールと前記ワイヤとの間に放電アークを生じさせるに十分な電流を、前記ワイヤ電極に周期的に与える工程と、前記電流を周期的に与えながら、前記ブールを横断するように前記ワイヤを動かし、これにより、前記ブールから4H炭化ケイ素のウエーハをスライスする工程とを備えることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

B28D 5/04 ,  B23H 1/00

FI (2件)：

B28D 5/04 B ,  B23H 1/00 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 4H形炭化珪素単結晶の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-126463   出願人：新日本製鐵株式会社
• 特開昭54-020485
  
• 特開昭51-140470
  
• 特開平2-041817
  
• 特開平4-122023