特許

J-GLOBAL ID：200903021014910002

光電計測装置及び露光装置

発明者： 浅石 忠弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 齋藤 和則 ,  伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-216271
公開番号（公開出願番号）：特開2006-041046
出願日： 2004年07月23日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：

【課題】光電変換素子の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償することができ、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮することができ、光電変換素子の良否判定を実施することで、光電変換素子を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子の感度がなくなり、装置が使用できなくなるリスクを回避することができる光電計測装置及びその光電計測装置を用いた露光装置を提供する提供する。【解決手段】光電変換素子2の同一の受光面上の光量計測部位31と感度校正用計測部位32からの各々の出力の相関をモニタすることで、半導体光電変換素子2の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償し、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮する。光電変換素子2の良否判定を実施することで、光電変換素子2を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子2の感度が無くなり、装置が使用できなくなるリスクを回避する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの照明光が照射される光量計測部位および所定時にのみ前記照明光が照射される感度校正用計測部位を同一の受光面上に有する光電変換素子と、 前記光源と前記光電変換素子との間に介在され、複数のスリットを有し、前記照明光を前記光量計測部位に照射し、前記所定時にのみ前記感度校正用計測部位に照射するように前記スリットを開閉するシャッタを有する遮光部と、 前記所定時に前記光量計測部位と前記感度校正用計測部位の出力を計測して、計測値に基づいて前記光量計測部位の感度劣化を補償する感度劣化補償手段と、 を備えることを特徴とする光電計測装置。

IPC (6件)：

H01L 31/10 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/10 ,  G03F 7/20 ,  H01L 31/08 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01L31/10 A ,  G01J1/04 A ,  G01J1/10 ,  G03F7/20 521 ,  H01L31/08 ,  H01L21/30 516C ,  H01L21/30 531A

Fターム (39件)：

2G065AA06 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065BA02 ,  2G065BA09 ,  2G065BB21 ,  2G065BB23 ,  2G065BC13 ,  2G065BC21 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065CA23 ,  2G065DA05 ,  2G065DA20 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB06 ,  5F046CB07 ,  5F046CB23 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DB11 ,  5F046DB12 ,  5F046DC02 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB05 ,  5F049MA02 ,  5F049MA04 ,  5F049MA05 ,  5F049NA20 ,  5F049NB10 ,  5F049TA11 ,  5F049WA05 ,  5F088AA11 ,  5F088BA20 ,  5F088BB10 ,  5F088JA11 ,  5F088LA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光方法及び装置、並びにデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-192023   出願人：株式会社ニコン