特許
J-GLOBAL ID：200903021017340894
石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048792
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247778
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】シリコン単結晶収率がよく、単結晶のAl汚染がなく、さらに高粘性化により耐久性のある石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法を提供する。【解決手段】ルツボ1の外層2がAl添加石英層、中間層3が天然石英層または高純度合成石英層、内層4が透明高純度合成石英層からなる3層構造の石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
請求項（抜粋）：
ルツボの外層がAl添加石英層、中間層が天然石英層または高純度合成石英層、内層が透明高純度合成石英層からなる3層構造であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
Fターム (1件)：
引用特許：
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