特許
J-GLOBAL ID：200903021049029759
ウエハの搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019120
公開番号（公開出願番号）：特開平10-218361
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの搬送装置において、ウエハを積層収容したバケットの水槽内への搬入、水槽内におけるバケットの回転及び移動を、容易に行うことを可能にし、バケットの回転時等にウエハがバケット内から飛び出すおそれを防止する。【解決手段】 水槽21内に支持フレーム45を回転可能及び移動可能に配設する。多数のウエハ22をバケット23内に積層収容した状態で、水槽21内の支持フレーム45上にウエハ22の積層方向が横向きとなるように搬入する。この状態で、支持フレーム45上の保持機構66により、ウエハ22をバケット23内の収容状態に保持する。その後、支持フレーム45の回転によりバケット23を回転させて、ウエハ22をその積層方向が縦向きとなるように姿勢変更する。さらに、支持フレーム45の移動によりバケット23を横方向に移動させて、ウエハ22を水槽21内の所定の分離位置に配置する。
請求項（抜粋）：
所定の厚さに切断された多数のウエハを、バケット内に積層収容した状態で、水槽内にウエハの積層方向が横向きとなるように搬入し、その後、バケットを回転させてウエハをその積層方向が縦向きとなるように姿勢変更し、さらに、バケットを横方向に移動させてウエハを水槽内の所定の分離位置に配置するようにしたウエハの搬送装置であって、前記水槽内にはバケットを支持するための支持フレームを回転可能及び移動可能に配設し、その支持フレームにはウエハをバケット内の収容状態に保持するための保持機構を設けたウエハの搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B65G 49/04
, H01L 21/68
B65G 49/07 C
, B65G 49/04 E
, H01L 21/68 A
