特許
J-GLOBAL ID：200903021086596418
炭化珪素多結晶体および耐食性部材
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216380
公開番号（公開出願番号）：特開平10-059770
出願日： 1996年08月16日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】高度に腐食性の物質に対して暴露される用途に適した炭化珪素多結晶体を提供し、この多結晶体から発生するパーティクル等の腐食物質や、これに伴う金属不純物の発散による汚染を防止できるようにする。【解決手段】炭化珪素多結晶体が、密閉容器中で、濃ふっ化水素酸、濃硝酸および濃硫酸からなる混酸中で250°Cで50時間、加熱させた後の未分解率が50%以上であることを特徴とする。好ましくは、この多結晶体が、平均粒径が10μm以上である六角柱状粒子であって、主として3Cの結晶相からなる六角柱状粒子の集合体であり、密度が3.15g/cc以上であり、多結晶体中に含有される金属不純物の含有量が10ppm以下であり、多結晶体のX線回折チャートにおける最強ピークの半価幅が0.20°以上、0.30°以下である。
請求項（抜粋）：
密閉容器中で、濃ふっ化水素酸、濃硝酸および濃硫酸からなる混酸中で250°Cで50時間、加熱させた後の未分解率が50%以上であることを特徴とする、炭化珪素多結晶体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/56 101 Z
, C30B 28/00
