ホール素子及びそれを用いた電力量計

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-253363
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097895
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】この発明は、不平衡電圧が小さくかつ温度特性の良好なホール素子と、そのホール素子を使用した電力量計を提供することを目的とする。【解決手段】この発明は、この半導体基板上11の半導体活性層12に設けられた複数の電流電極端子15及び複数のセンサ電極端子16とでホール素子部を構成したホール素子において、半導体活性層12を取り囲む半導体基板領域の少なくとも一片を残し他を半導体基板11等から分離し空隙部17を形成するよう構成した。半導体活性層12のホール素子部12Aは、空隙部17の存在により、外部からの温度変化の影響や機械的外乱を軽減でき、ブリッジを形成したとき、不平衡電圧の発生を軽減し得る良好なホール素子を提供できる。また、そのようなホール素子を電力量計に使用することにより、高温部でも検出誤差を著しく軽減することができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、この半導体基板上に形成され、対をなす電流電極端子及びこの電流電極端子間をつなぐ線に交差して得られた対をなすセンサ電極端子が設けられホール素子部を有する半導体活性層と、この半導体活性層におけるホール素子部とそれ以外の部分間又は前記ホール素子部と前記半導体基板間の少なくとも一方に形成された空隙部とを有するホール素子。

IPC (3件)：

H01L 27/22 , G01R 21/08 , H01L 43/06

FI (3件)：

H01L 27/22 , G01R 21/08 , H01L 43/06 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

ホール素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-302002 出願人：昭和電工株式会社
特開昭53-057983

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