特許
J-GLOBAL ID:200903021139782383

光周波数領域反射測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井出 直孝 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-146499
公開番号(公開出願番号):特開平7-005068
出願日: 1993年06月17日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】 周波数を時間に対して直線的に掃引したレーザ光を信号光と参照光とに分波し、その信号光を被測定光部品に入射したときの反射光を参照光に合波して干渉信号を解析する光周波数領域反射測定装置の測定可能範囲を拡大する。【構成】 参照光を二つに分波し、その一方に周波数シフトおよび遅延を与えて再び合波し、周波数シフトおよび遅延のない参照光成分と周波数シフトおよび遅延のある参照光成分とを多重化する。【効果】 光周波数が異なる参照光成分を利用して互いの測定領域を区別し、その遅延により被測定光部品の測定点との間の光路時間差を小さくして十分な干渉信号を得ることができる。したがって、高い距離分解能を保ちながら、比較的広い距離範囲にわたる測定が可能となる。
請求項(抜粋):
光周波数が時間に対して変化するコヒーレント光を発生する発光手段と、この発光手段の出力光を信号光と参照光とに分波する第一の光学手段と、この信号光を被測定光部品に入射するとともにその被測定光部品からの反射信号光を上記参照光に合波する第二の光学手段と、合波された光波を電気信号に変換して解析する検波解析手段とを備えた光周波数領域反射測定装置において、上記参照光の光路上に、参照光を二つの光波に分波する第三の光学手段と、この二つの光波の一方に周波数シフトおよび遅延を与えて再び合波する第四の光学手段とを備えたことを特徴とする光周波数領域反射測定装置。
IPC (3件):
G01M 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G02F 2/00
引用特許:
出願人引用 (2件)

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