半導体レーザ位相シフト干渉計における位相検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三浦邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-098899
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306006
出願日： 1994年05月12日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】光強度が変化し位相シフトずれがあっても、位相を正確に求める。【構成】 2πの位相空間を、m個(m≧3)の測定位相点に分割し、波長シフト手段により半導体レーザの発振波長をシフトさせながら、各測定位相点において縞画像情報を求め、合計n枚の縞画像情報Ii (n≧2m-1;m≧3、i=0〜n-1、Ii は、n枚の縞画像情報の各二次元画素群における光強度)を得るステップと;これらの実測の縞画像情報Ii を、Gj ;Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)からなるm個のグループに分けるステップと;以上の各グループGj において、実測縞画像情報Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)に、実測位相点と参照位相点との位相ずれ量に応じた重みを付して、補正縞画像情報Ij'を推定するステップと;この補正縞画像情報Ij'から縞画像の位相Φを求めるステップと;とを有する。

請求項（抜粋）：

半導体レーザを光源とする干渉計であって、該半導体レーザの発振波長を変化させる波長シフト手段と;干渉の結果生じる縞画像情報を入力する、二次元画素群を有する縞画像入力手段と;を有する半導体レーザ位相シフト干渉計において、2πの位相空間を、m個(m≧3)の測定位相点に分割し、上記波長シフト手段により半導体レーザの発振波長をシフトさせながら、各測定位相点において縞画像情報を求め、合計n枚の縞画像情報Ii (n≧2m-1;m≧3、i=0〜n-1、Ii は、n枚の縞画像情報の各二次元画素群における光強度)を得るステップと;これらの実測の縞画像情報Ii を、Gj ;Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)からなるm個のグループに分けるステップと;以上の各グループGj において、実測縞画像情報Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)に、実測位相点と参照位相点との位相ずれ量に応じた重みを付して、補正縞画像情報Ij'を推定するステップと;この補正縞画像情報Ij'から縞画像の位相Φを求めるステップと;とを有することを特徴とする半導体レーザ位相シフト干渉計における位相検出方法。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-297807
位相差可変素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-307886 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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