特許
J-GLOBAL ID：200903021277339385
有機EL素子の製造方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196308
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023772
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 マスクを用いて発光層の蒸着を行う際に、他の発光材料等に悪影響を与えることがなく、製造も容易な有機EL素子の製造方法と装置を提供する。【解決手段】 ガラスや樹脂等の透明な基板10の表面にITO等の透明な電極材料により所定の形状となるように透明電極12を形成し、この透明電極12に有機EL材料からなる発光層22を蒸着等の真空薄膜形成技術により積層する。発光層22の表面に、透明電極12に対向した所定形状のAl-Li等の背面電極24を形成する。発光層22を形成する際に、発光層22の形状に開口した開口部32を有したマスク30を用い、このマスク30の透明基板10の側面には、開口部32に沿って基板10の表面に対向するワイヤ36が突設され、このワイヤ36を基板10の非発光部に対面させて、開口部32から蒸着材料を基板10に付着させ、所望の発光層22を形成する。
請求項（抜粋）：
透明な基板表面に透明な電極材料により所定の形状となるように透明電極を形成し、この透明電極に有機EL材料からなる発光層を真空薄膜形成技術により積層し、上記発光層の表面に、上記透明電極に対向した所定形状の背面電極を形成する有機EL素子の製造方法において、上記発光層を形成する際に、上記発光層の形状に開口した開口部を有したマスクを用い、このマスクの上記基板側の面には上記開口部に沿って上記基板表面に対向するワイヤが突設され、このワイヤを上記基板の非発光部に対面させて、上記開口部から蒸着材料を上記基板に付着させ、所望の発光層を形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。
Fターム (11件)：
3K007AB04
, 3K007AB18
, 3K007CA01
, 3K007CA02
, 3K007CA05
, 3K007CB01
, 3K007DA00
, 3K007DB03
, 3K007EB00
, 3K007FA00
, 3K007FA01
