特許

J-GLOBAL ID：200903021294293186

電子放出素子、電子源、発光装置、画像形成装置および基板の各製造方法、並びに電子放出素子

発明者： 石倉 淳理 ,  塚本 健夫 ,  齋藤 康行 ,  亀山 誠
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-243202
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157758
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 工程が簡略で製造コストが廉価であり、所望の位置に所望の密度で炭素を主成分とするファイバーを固定させ、優れた電子放出特性を有する電子放出素子を製造できる方法、前記素子を用いた電子源、発光装置および画像形成装置の各製造方法、並びに工程が簡略で製造コストが廉価な基板の製造方法を提供する。【解決手段】 炭素を主成分とする材料をエアロゾル化し、これをガスと共に搬送しノズルを通して基板上に密着させるエアロゾル式ガスデポジション法により、前記炭素を主成分とする材料で電子放出素子を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

炭素を主成分とする材料をエアロゾル化し、これをガスと共に搬送しノズルを通して基板上に密着させるエアロゾル式ガスデポジション法により、前記炭素を主成分とする材料で電子放出素子を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/304

FI (2件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F

Fターム (18件)：

5C127AA01 ,  5C127BA06 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127BB08 ,  5C127CC02 ,  5C127DD08 ,  5C127EE02 ,  5C127EE15 ,  5C135AA06 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AB08 ,  5C135AC02 ,  5C135HH02 ,  5C135HH15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電界放出型冷陰極及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-289538   出願人：株式会社東芝
• 超微粒子成膜法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-210765   出願人：工業技術院長
• 接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-266103   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
• 電子放出素子とその製造方法、および該電子放出素子を使用した画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-220445   出願人：株式会社リコー