特許
J-GLOBAL ID:200903037413862538
接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三俣 弘文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-266103
公開番号(公開出願番号):特開2000-141056
出願日: 1999年09月20日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブ電子電界エミッタ構造を含む改良された電界放出デバイスを実現する。【解決手段】 接着性カーボンナノチューブ膜(単層あるいは多層ナノチューブを含む)が、比較的平坦な導電性基板上に形成される。本発明は、強く接着するカーボンナノチューブ膜を実現する。さらに、放出特性を向上させるために、膜中のナノチューブの一部(例えば、少なくとも50体積%)を、ほぼ同じ方向に整列させ、それらの長軸を、基板表面に垂直な向きにすることが可能である。一実施例では、単層カーボンナノチューブが、炭素溶解性元素(例えば、Ni、Fe、Co)あるいはカーバイド形成元素(例えば、Si、Mo、Ti、Ta、Cr)のような炭素と反応する材料を含む基板上に形成される。また、アルミニウムのような低融点材料を有する基板を使用することも可能である。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上の接着性カーボンナノチューブ膜とを有することを特徴とするデバイス。
IPC (13件):
B23K 20/00 310
, B23K 20/00
, B05D 7/24 303
, B81B 1/00
, C01B 31/02 101
, C01B 31/30
, H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
, H01L 21/28 301
, H01L 21/283
, H03F 3/58
FI (13件):
B23K 20/00 310 C
, B23K 20/00 310 L
, B05D 7/24 303 B
, B81B 1/00
, C01B 31/02 101 F
, C01B 31/30
, H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01L 21/28 301 D
, H01L 21/283 A
, H03F 3/58
, H01J 1/30 F
引用特許:
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