特許

J-GLOBAL ID：200903021303009380

3次元形状測定装置

発明者： 根岸 真人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228648
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046543
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 従来の3次元形状測定装置では、測定した領域が被測定物のどこにあるか測定できない。誤差形状が大きくなり、1マイクロメートル以下の形状測定には不都合がある。接触球の真球度誤差、プローブの追従誤差が測定精度を悪化させる等の課題があった。【解決手段】 被測定物に設けた3つの球と、この3つの球の中心位置を測定する中心位置測定部と、前記被測定物表面上の点群を測定する点群測定部と、前記3つの球の中心位置から被測定物の形状定義座標系の位置を計算する位置計算部と、前記被測定物の表面上の点群を形状定義座標系に座標変換する座標変換計算部と、前記座標変換した測定結果に対して設計座標系位置を推定計算する推定計算部とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

先端に真球を有し被測定物の表面の凹凸に追従するプローブと、そのプローブをX,Y,Z方向に移動させて前記真球で被測定物の表面をなぞらせてX,Y,Z位置座標を測定するX,Y,Zスライドとを有する3次元形状測定装置において、前記被測定物に設けた3つの球と、この3つの球の中心位置を測定する中心位置測定部と、前記被測定物表面上の点群を測定する点群測定部と、前記3つの球の中心位置から前記被測定物の形状定義座標系の位置を計算する位置計算部と、前記被測定物の表面上の点群を形状定義座標系に座標変換する座標変換計算部と、前記座標変換した測定結果に対して設計座標系位置を推定計算する推定計算部とを備えたことを特徴とする3次元形状測定装置。

FI (2件)：

G01B 21/20 C ,  G01B 21/20 P

Fターム (24件)：

2F069AA51 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG15 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM17 ,  2F069MM32 ,  2F069NN08 ,  2F069NN11 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 形状測定装置、及びそれを用いた被測定面の位置決め方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-046251   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 特開平2-128101