研磨装置及び研磨治具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117604
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】トーリック面のように非球面形状の凹面を研磨する研磨治具の必要な数を減少できる研磨装置及びその研磨装置に用いられる研磨治具を提供する。【解決手段】無軌道研磨軌跡を与える研磨装置において、研磨治具1をアルミニウムや鋳鉄などの硬い材質から可撓性シート2に変更し、この可撓性シート2を流体圧力で風船状に膨らませてドーム2aを形成する研磨治具とする。

請求項（抜粋）：

被研磨物を保持する保持具と、前記保持具に所定の往復運動を与える駆動装置と、前記被研磨物を研磨する研磨布を保持する研磨治具と、前記研磨治具を装着できると共に、この研磨治具に首振り旋回運動を与える揺動装置とを備え、前記被研磨物を無軌道研磨軌跡で研磨する研磨装置において、前記研磨治具が、流体圧力で膨らんでドーム状を形成する可撓性シートを備えることを特徴とする研磨装置。

Fターム (10件)：

3C049AA02 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049AB01 , 3C049AB03 , 3C049AB04 , 3C049BB04 , 3C049BC02 , 3C049CB03 , 3C049CB05

引用特許：

審査官引用 (5件)

曲面研磨具
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-291929 出願人：八千代マイクロサイエンス株式会社
特開昭61-173852
曲面研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-258431 出願人：富士ゼロックス株式会社

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