特許

J-GLOBAL ID：200903021308645838

磁場制御による走査プローブ顕微鏡

発明者： 山田 啓文 ,  山本 伸一 ,  スージー ジャービス
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構 ,  松下電器産業株式会社
代理人 (2件)： 工業技術院機械技術研究所長 (外1名) ,  川井 治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344903
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159682
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 探針-試料間に作用する力をコントロールし、非接触の状態を保つことのできる走査プローブ顕微鏡を得ること。【解決手段】 試料6-探針8先端間の力を任意の値に制御するための磁場制御装置5を位置制御機構3内に設置する。

請求項（抜粋）：

磁性部材を有する探針付きカンチレバーと、試料の位置を制御するための位置制御機構と、前記カンチレバーの撓み量を計測するための微小変位計測機構と、及び前記磁性部材と前記試料との間の力を制御する磁場制御装置を有することを特徴とする磁場制御による走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 走査型プローブ顕微鏡および原子種同定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-059863   出願人：松下電器産業株式会社