特許

J-GLOBAL ID：200903021351228469

自動ダイボンダー

発明者： 関 政義 ,  並木 周 ,  大石 勇 ,  山内 朗 ,  苅北 一朗 ,  木下 義浩
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社 ,  東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小林 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023254
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216170
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 互いに接合する2つのワークの位置合わせの精度を飛躍的に高め、且つボンデイングの完全自動化を可能にする。【構成】 保持コレット3の移動によりそれに保持されたワーク1を可動テーブル5上のワーク2と対向させ、精密位置決め装置により両ワーク1、2を精密に位置合わせしてから、保持コレットに保持されたワークを他方のワークに圧着して両ワークを接合する自動ダイボンダーであり、同精密位置決め装置を、移動可能で且つ両ワークの位置を検出可能で且つ各ワークをその被撮影面に直交する方向から撮影可能な固体撮像素子7と、同固体撮像素子からの検出信号により両ワークの相対的な位置ずれを算出して可動テーブルの移動を制御する処理制御部とで構成した。固体撮像素子が両ワークを同一視野で撮影できるようにした。

請求項（抜粋）：

可動テーブルに保持されている一方のワークと対向する位置に他方のワークを保持して移送すると共に精密位置決め装置を介して両ワークの相対位置関係が所望の位置関係に制御された状態において前記一方のワークに対して前記他方のワークを圧着せしめる保持コレットを備えた自動ダイボンダーにおいて、前記精密位置決め装置を、両ワーク間若しくは両ワークの上方に移動し得ると共に各ワークの被撮影面に対して直交する方向から撮影し得るように装着された固体撮像素子と、同固体撮像素子からの検出信号により両ワークの相対的な位置ずれを算出し、かつそれに基づいて前記可動テーブルの移動を制御する処理制御部とで構成したことを特徴とする自動ダイボンダー。

IPC (3件)：

H01L 21/52 ,  H01L 21/68 ,  H01S 3/18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子部品装着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-150715   出願人：株式会社東芝