特許
J-GLOBAL ID:200903021353660619
インクジェット式薄膜形成装置及び薄膜形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-431780
公開番号(公開出願番号):特開2005-185978
出願日: 2003年12月26日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】 ライン型の固定インクジェットヘッドに不吐出ノズルやビーム曲がりノズルが発生しても、白スジや厚みムラ等の欠陥の無い製膜形成を行う。【解決手段】 ライン型の固定インクジェットヘッド3とリペア用ヘッド4a,4bを備え、さらに、インク滴着地位置評価用冶具8、撮像手段5が配置される。インク滴着地位置評価用治具8上にヘッド3及びヘッド4a,4bからインクを吐出してインク液滴列が形成し、撮像手段5により、不吐出ノズルの有無を検出する。リペア用ヘッドの正常ノズルで、ヘッド3の不良ノズルを補正するようにヘッド4が移動する。ヘッド吐出信号生成装置13ではヘッドノズル状態データと製膜データに基づき、ライン型の固定インクジェットヘッド3とリペア用ヘッド4への吐出データを生成して溶液を吐出する構成とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
記録メディアの搬送方向と直交する方向に配置された複数のノズルを有するライン型固定インクジェットヘッドを備える薄膜形成装置において、
複数のノズルを有し記録メディアの搬送方向に直交する方向に移動可能なリペア用インクジェットヘッドと、前記ライン型固定インクジェットヘッド及び前記リペア用インクジェットヘッドのノズルの吐出状態を測定してそれぞれの不良ノズルを検出する検出手段と、前記ライン型固定インクジェットヘッドの不良ノズルを補間する吐出位置に、正常吐出可能なノズルを有するリペア用インクジェットヘッドを移動させる移動手段とを有することを特徴とするインクジェット式薄膜形成装置。
IPC (7件):
B05C5/00
, B05B12/04
, B05C11/00
, B05D3/00
, G02B5/20
, H05B33/10
, H05B33/14
FI (8件):
B05C5/00 101
, B05B12/04
, B05C11/00
, B05D3/00 D
, G02B5/20 101
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, B41J3/04 101Z
Fターム (42件):
2C056EA14
, 2C056EB40
, 2C056EC79
, 2C056FA13
, 2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB46
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC91
, 4D075AC93
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DB31
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EA21
, 4D075EA45
, 4D075EB39
, 4F035BA03
, 4F035BC01
, 4F035BC05
, 4F041AA02
, 4F041AB02
, 4F041BA13
, 4F041BA21
, 4F041BA34
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA08
, 4F042AA10
, 4F042BA08
, 4F042CB24
, 4F042DH00
引用特許: