特許
J-GLOBAL ID：200903021358937678

装置稼働率向上システム、モニタ装置、部品供給装置、装置稼働率向上方法、記録媒体およびプログラム

発明者：
藤田 雅人

藤田 雅人 について

, 
小林 秀

小林 秀 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体先端テクノロジーズ

株式会社半導体先端テクノロジーズ について


代理人 (1件)： 高田 守 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128854
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324109
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置10等の製造設備の稼働率を低下させずにさらに向上させる保守および修理等を行うことができる装置稼働率向上システム、モニタ装置、部品供給装置、装置稼働率向上方法、記録媒体およびプログラムを提供する。【解決手段】 付帯システム20に半導体製造装置10を管理させることにより、半導体製造装置10の故障の徴候または故障をモニターすることができる。このため、半導体製造装置10に故障の徴候が現れ始めたが、まだあと何台かは製造することが可能な完全に停止する前の故障予期状態において、予め保守を行うことができる。故障した場合にも迅速に修理を行うことができる。さらに、半導体製造装置10のデータをデータベース16に集中させることにより、ホスト・ネットワーク40のトラフィック量を不必要に増大させずに済ませることができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも1台の装置の稼働率を監視するモニタ装置と、装置から送信されたデータを記録するデータベースとを備えた装置稼働率向上システムであって、前記モニタ装置は、装置からデータを収集しデータベースに記録する収集手段と、データベースに記録されたデータに基づいて該装置の状況を診断する一次診断手段と、前記一次診断手段により異常が検出された場合、異常の原因を診断して対処方法の候補を提案する二次診断手段と、前記二次診断手段により提案された対処方法に基づいて部品引当方針を提案する部品引当方針提案手段とを備えたことを特徴とする装置稼働率向上システム。
IPC (2件)：
G06F 17/60 108 ,  G05B 19/418
FI (2件)：
G06F 17/60 108 ,  G05B 19/418 Z
Fターム (9件)：
3C100AA29 ,  3C100AA38 ,  3C100AA57 ,  3C100AA58 ,  3C100BB05 ,  3C100BB13 ,  3C100BB27 ,  3C100CC12 ,  3C100EE06
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM