検査方法及び検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-015019
公開番号（公開出願番号）：特開2009-175035
出願日： 2008年01月25日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】2種類の異なる波長の光を照明して検査対象物を透過又は反射させて2つの画像のデータの差を求め、その差から検査対象物の欠陥を検出することができる検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】青色の光を含む2種類の異なる波長の光を検査対象物に照明し、検査対象物を透過又は反射した光に基づいて作られた2つの画像のデータの差を求め、その差から検査対象物の欠陥を検出する。青色の光を含む2種類の波長の光で検査対象物を照明する照明手段と、照明手段から2種類の波長の光が検査対象物に照明されて検査対象物を透過又は反射したあと、2つの画像を撮像する撮像手段と、撮像された検査対象物の2つの画像のデータから検査対象物の欠陥を検出するための画像処理手段を備え、撮像手段により得られた2つの画像のデータの差を求め、検査対象物の欠陥を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2種類の異なる波長の光を検査対象物に照明し、照明された検査対象物を透過又は反射した異なる2種類の波長の光に基づいて作られた2つの画像のデータの差を求め、その差から検査対象物の欠陥を検出することを特徴とする検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 A

Fターム (33件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065CC01 , 2F065CC02 , 2F065CC17 , 2F065FF04 , 2F065GG23 , 2F065GG25 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL22 , 2F065QQ13 , 2F065QQ31 , 2F065RR08 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB06 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB03 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA06 , 2G051DA13 , 2G051EA08 , 2G051EA16 , 2G051EA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-359700 出願人：セイコーエプソン株式会社

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