垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-119865
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014778
出願日： 2002年04月22日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法を提供する。【解決手段】本体と、前記本体から浮遊しているフレームと、前記フレームが前記本体内で支持されるように前記フレームから延びて前記本体に連結される多数の支持ビームと、前記フレーム内で対向するように延びて形成された移動電極と、前記本体から支持されて浮遊している状態で前記移動電極と対向する固定電極とを具備し、前記対向する移動電極及び固定電極の垂直方向長さが相異なることを特徴とする。これにより、その構造体と電極が同時に製作されて工程が単純化され、3方向の角速度センサーと3方向の加速度センサーとを同一基板上に同一工程により製作できて6軸慣性センサーを同一基板上に集積化できる。

請求項（抜粋）：

本体と、前記本体から浮遊しているフレームと、前記フレームが前記本体内で支持されるように前記フレームから延びて前記本体に連結される多数の支持ビームと、前記フレーム内で対向するように延びて形成された移動電極と、前記本体から支持されて浮遊している状態で前記移動電極と対向する固定電極とを具備し、前記対向する移動電極及び固定電極の垂直方向長さが相異なることを特徴とする垂直変位測定及び駆動構造体。

IPC (6件)：

G01P 15/125 , G01B 7/00 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/18 , H01L 29/84

FI (6件)：

G01P 15/125 Z , G01B 7/00 K , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z , G01P 15/00 K

Fターム (26件)：

2F063AA02 , 2F063BA26 , 2F063CA09 , 2F063CA34 , 2F063DA05 , 2F063HA05 , 2F063KA01 , 2F105BB01 , 2F105BB12 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 4M112AA02 , 4M112AA04 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA07 , 4M112DA15 , 4M112EA03 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

超小形電気機械式横方向加速度計
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-500755 出願人：コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド
高感度力検出のための超小型化ねじれキャンティレバー
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-506821 出願人：コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (1件)

Surface/Balk Micromachined Single-Crystalline-Silicon Micro-Gyroscope

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