充填高純度高圧ガス

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-030674
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232495
出願日： 2002年02月07日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体産業分野等における高純度圧縮ガスや高純度液化ガスの貯蔵、輸送に使用される高圧ガス容器の材質はマンガン鋼、もしくは、クロムモリブデン鋼が一般に用いられているが、高圧ガス容器材質に起因する金属不純物により純度低下を起こしている。【解決手段】マンガン鋼、もしくは、クロムモリブデン鋼の高圧ガス容器の内部をショットブラスト研磨、湿式研磨、電解複合研磨または、電解研磨した後、酸化剤を含む塩基性洗浄液にて洗浄処理を施した後、純水洗浄を行い、更に有機溶剤で洗浄処理し、これを加熱真空あるいは、窒素、アルゴン等の不活性ガスで置換除去し清浄化し次いで酸化性ガス雰囲気で加熱処理して得られた容器に高純度ガスを充填使用する。

請求項（抜粋）：

主として鉄からなる金属で構成され、内表面が鉄の酸化物から構成され、その酸素の化学形態において、水酸化鉄の酸素が鉄の酸化物の全酸素の40%未満である高純度高圧ガス用容器に高純度ガスを充填してなる高純度高圧ガス。

Fターム (4件)：

3E072AA01 , 3E072BA00 , 3E072CA03 , 3E072DA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-210196
高圧ガス容器の内面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-062658 出願人：三井化学株式会社, 有限会社エムシィシィ工業
高圧ガス容器の内面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-175667 出願人：テイサン株式会社

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