表面性状測定機

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310940
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133247
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】スキッド付き測定とスキッドレス測定とを簡単に切り替えることができるとともに、スキッドの測定表面への押圧力を調整できる表面性状測定機を提供する。【解決手段】スキッド14を先端に有する検出器10を付勢する付勢手段41,42と、この付勢手段41,42の付勢力を制御する付勢力制御手段47と、この付勢力制御手段47で所定の付勢力を検出器10に付与した際に検出器10の付勢方向の移動を規制する規制手段50と、を備える。スキッドレス測定を行うには、付勢力制御手段47によって所定の付勢力を検出器10に付与して検出器10をロックする。スキッド付き測定を行うには、付勢力制御手段によって所定未満の付勢力を検出器に付与する。

請求項（抜粋）：

表面性状測定用の触針と着脱可能なスキッドとを先端に有する検出器と、この検出器を測定表面に沿って移動させる駆動部と、前記スキッドを測定表面に押圧するために前記検出器を付勢する付勢手段と、この付勢手段の付勢力を制御する付勢力制御手段と、この付勢力制御手段で所定の付勢力を前記検出器に付与した際に前記検出器の付勢方向の移動を規制してスキッドレス測定を行う規制手段と、を備えたことを特徴とする表面性状測定機。

IPC (4件)：

G01B 21/30 , G01B 5/20 , G01B 5/28 , G01B 21/20

FI (4件)：

G01B 21/30 Z , G01B 5/20 J , G01B 5/28 , G01B 21/20 P

Fターム (26件)：

2F062AA55 , 2F062AA66 , 2F062CC22 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062EE63 , 2F062FF02 , 2F062HH05 , 2F062HH10 , 2F062HH32 , 2F062HH33 , 2F069AA54 , 2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069DD25 , 2F069GG02 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069GG63 , 2F069HH04 , 2F069JJ04 , 2F069LL03 , 2F069LL04 , 2F069LL10 , 2F069MM04 , 2F069MM21

引用特許：

出願人引用 (1件)

表面性状測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-358885 出願人：株式会社ミツトヨ

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