特許
J-GLOBAL ID：200903021468059994
フローセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 宏一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-251308
公開番号（公開出願番号）：特開2008-070323
出願日： 2006年09月15日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：
【課題】フローセンサチップと流路形成部材を低融点ガラスで接合する際に正確にかつ容易に位置決めして接合することができるようにしたフローセンサを提供する。【解決手段】流体の流れを検出する検出部7が形成されたフローセンサチップ2と、フローセンサチップ2と協働して流体を流す流路4を形成する流路形成部材3とを備えたフローセンサにおいて、フローセンサチップ2と流路形成部材3は低融点ガラス9で接合されるようになっており、流路形成部材3の所定領域Aに形成された低融点ガラス9の当該領域Aにのみ対向するようにフローセンサチップ2の所定領域Bに親水性薄膜11が形成された構成としたものである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
流体の流れを検出する検出部が形成されたフローセンサチップと、
前記フローセンサチップと協働して前記流体を流す流路を形成する流路形成部材とを備えたフローセンサにおいて、
前記フローセンサチップと流路形成部材は低融点ガラスで接合されるようになっており、
前記流路形成部材の所定領域に形成された低融点ガラスの当該領域にのみ対向するように前記フローセンサチップの所定領域に親水性薄膜が形成されたことを特徴とするフローセンサ。
IPC (1件)：
FI (3件)：
G01F1/68 104A
, G01F1/68 104B
, G01F1/68 104C
