特許

J-GLOBAL ID：200903021481413900

ターボ分子ポンプ

発明者： 岡村 知明 ,  松本 隆博
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 石川 新 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223606
公開番号（公開出願番号）：特開平11-062879
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】 ターボ分子ポンプを構成し高速回転中の回転体が万一破損しても、ケーシングに伝達される破損回転体の回転エネルギを効果的に減少させうるように構成したターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ターボ分子ポンプの上部ケーシング1を二重ケーシング構造とし、その内部ケーシング21に静翼4を固定してある。ロータ6には動翼5が設けられている。また、ロータ6にはねじ溝ポンプ段8が設けられ、その外側に配置されたシールリング22はボルト22によって下部ケーシング16に固定され、その固定部位には環状突起部25が形成されている。内部ケーシング21と外側のケーシングの間、及びシールリング22とその外側の下部ケーシング16の間には、それぞれ隙間27及び27′が形成されている。

請求項（抜粋）：

内側に静翼を備えた上部ケーシングと、同上部ケーシング内に配設され動翼を備えたロータとで構成された動静翼段を具えたターボ分子ポンプにおいて、前記上部ケーシングを二重ケーシング構造とし、その内部ケーシングに前記動翼を固定してなることを特徴とするターボ分子ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-245495
  
• モレキュラドラッグポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-283375   出願人：株式会社島津製作所