特許

J-GLOBAL ID：200903021481725669

流量制御装置および生産装置

発明者： 百瀬 修
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014914
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214930
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 流量設定の迅速な切替えを可能にし、また流量変更時に流量が安定した状態へ移行したことを外部へ出力できる流量制御装置およびその流量制御装置を利用した生産装置を得ることである。【解決手段】 外部から流量設定値変更指示を入力する入力手段および、判定手段による判定結果を外部へ出力する出力手段としての遠隔操作用制御プログラム59bと、前記入力手段により入力した流量設定値変更指示により変更された設定値へ検出流量が近づいたことを判定する判定手段としての流量制御状態検出用プログラム59cとを備える。

請求項（抜粋）：

被測定流体が流れる流路と、前記被測定流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量を検出する流量検出手段と、前記調節弁を制御して前記流量検出手段により検出した検出流量を設定値に近づける制御手段とを備えた流量制御装置において、外部から流量設定値変更指示を入力する入力手段と、該入力手段により入力した流量設定値変更指示により変更された設定値へ前記検出流量が近づいたことを判定する判定手段と、該判定手段による判定結果を外部へ出力する出力手段とを備えていることを特徴とする流量制御装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 ,  G05B 23/02

FI (2件)：

G05D 7/06 Z ,  G05B 23/02 V

Fターム (18件)：

5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223BB09 ,  5H223CC01 ,  5H223EE01 ,  5H223EE06 ,  5H223FF01 ,  5H307AA12 ,  5H307BB04 ,  5H307DD20 ,  5H307EE02 ,  5H307EE07 ,  5H307EE19 ,  5H307FF06 ,  5H307GG03 ,  5H307GG11 ,  5H307HH04 ,  5H307HH12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 流量計及び質量流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157595   出願人：エマーソン・エレクトリック・カンパニー
• 流量制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045595   出願人：日立金属株式会社
• 特開平2-157996