特許

J-GLOBAL ID：200903021483809363

燃料電池用触媒の担持方法

発明者： 岡本 光 ,  柳 陽介 ,  朝生 敏裕
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-033038
公開番号（公開出願番号）：特開2005-228485
出願日： 2004年02月10日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】電解質膜にダメージを与えることを抑え、発電出力を向上させるのに有利な燃料電池用触媒の担持方法を提供することを課題とする。【解決手段】減圧室101とターゲットホルダ102と対象物ホルダ103とをもつチャンバ104と、ターゲットホルダ102の裏側に設けられた超電導磁石105と、超電導磁石105を極低温に冷却する冷凍機108とをもつスパッタ装置100を用いる。燃料電池の電解質をスパッタ装置100の対象物ホルダ103に設置する。触媒金属を母材とするターゲット109をターゲットホルダ102に設置する。減圧室101をガスを導入した状態において超電導磁石105の磁場により高密度プラズマをターゲット付近に形成しつつ放電させ、触媒金属の原子またはクラスタを飛翔させて電解質に触媒を担持させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

減圧室と前記減圧室に設けられたターゲットホルダと前記ターゲットホルダに対面可能に前記減圧室に設けられた対象物ホルダとをもつチャンバと、前記ターゲットホルダの裏側に設けられた超電導磁石と、前記超電導磁石を極低温に冷却する冷凍機とをもつスパッタ装置を用い、 燃料電池に装備される高分子型の電解質を前記スパッタ装置の前記対象物ホルダに設置すると共に、触媒金属を母材とするターゲットを前記ターゲットホルダに設置する工程と、 前記減圧室をガスを導入した状態において放電を生じさせつつ、前記超電導磁石の磁場により高密度プラズマを前記ターゲット付近に形成し、前記触媒金属の原子またはクラスタを前記電解質に向けて飛翔させて前記電解質に触媒を担持させる触媒担持スパッタリング工程とを実施することを特徴とする燃料電池用触媒の担持方法。

IPC (2件)：

H01M4/88 ,  H01M8/10

FI (2件)：

H01M4/88 K ,  H01M8/10

Fターム (8件)：

5H018AA06 ,  5H018BB07 ,  5H018HH03 ,  5H018HH08 ,  5H026AA06 ,  5H026BB04 ,  5H026HH03 ,  5H026HH08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第3049267号
  
• 燃料電池用電極およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-189807   出願人：日本電池株式会社
• 燃料電池の電極構造及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-077015   出願人：マツダ株式会社
• 電極-膜アセンブリの製造方法及びこの方法によって製造された電極-膜アセンブリを用いた燃料電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-082609   出願人：三星電子株式会社