特許
J-GLOBAL ID：200903021508418720
マイクロバルブを含む構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219807
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：
【要約】【課題】 流体チャネルにおける流体の逆流を防止するマイクロバルブを含む構造体を得る。【解決手段】 構造体40は、流体チャネル48を定義する第1の基板42及び第2の基板44を備えている。マイクロバルブ54が、第1または第2の基板上に形成されている。このマイクロバルブ54は、チャネルの中の流体上の蒸気によりフラップ68に加えられる圧力によって、流体がチャネル48の部分内50に流入することを防止するように曲げられるフラップ68を含んでいる。マイクロバルブ54はインクジェット用プリントヘッド40の中に形成することができる。マイクロバルブ54は、少ない数のマスキングレベルを使用する簡易化された方法で、半導体材料の中に形成することができる。
請求項（抜粋）：
第1の基板と、第2の基板と、第1のチャネル部及び第2のチャネル部を備え、前記第1の基板及び前記第2の基板によって画定された流体チャネルと、前記第1のチャネル部内の流体を加熱して蒸気を形成するように配置された加熱素子と、前記流体上の前記蒸気により加えられた圧力によって、前記流体が前記第1のチャネル部から前記第2のチャネル部へ流入することを少なくともかなり防止するように曲げられるフラップを含む、前記第1の基板及び前記第2の基板の一方の上に形成されたマイクロバルブと、を備えることを特徴とするマイクロバルブを含む構造体。
IPC (3件)：
B41J 2/05
, B41J 2/16
, F16K 31/02
F16K 31/02 Z
, B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
2C057AF10
, 2C057AG12
, 2C057AG29
, 2C057AP31
, 2C057BA03
, 2C057BA13
, 3H062AA04
, 3H062AA12
, 3H062BB10
, 3H062BB30
, 3H062CC04
, 3H062FF21
, 3H062HH03
, 3H062HH10
