特許

J-GLOBAL ID：200903021531408880

光記録媒体の反射層形成用銀合金スパッタリングターゲット

発明者： 三島 昭史 ,  藤田 悟史 ,  小路 雅弘
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-109058
公開番号（公開出願番号）：特開2003-221667
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】光記録ディスク(CD-RW,DVD-RAM)などの光記録媒体のAg合金反射層を形成するための銀合金スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】(1)Zn:0.1〜20質量%、Al:0.1〜3質量%を含有し、残部がAgである組成の銀合金、(2)Zn:0.1〜20質量%、Al:0.1〜3質量%を含有し、さらにCa,Be,Siから選ばれる1種または2種以上の合計:0.005〜0.05質量%を含有し、残部がAgである組成の銀合金、(3)Zn:0.1〜20質量%、Al:0.1〜3質量%を含有し、さらにDy,La,Nd,Tb,Gdから選ばれる1種または2種以上の合計:0.1〜3質量%を含有し、残部がAgである組成の銀合金、または(4)前記(3)記載の銀合金に、さらにCa,Be,Siから選ばれる1種または2種以上の合計:0.005〜0.05質量%を含有する組成の銀合金からなる。

請求項（抜粋）：

Zn:0.1〜20質量%、Al:0.1〜3質量%を含有し、残部がAgである組成の銀合金からなることを特徴とする光記録媒体の全反射層および半透明反射層 (以下、両者を含めて反射層と総称する)形成用銀合金スパッタリングターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/24 538 ,  G11B 7/26 531

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 538 E ,  G11B 7/26 531

Fターム (11件)：

4K029BA22 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029BD09 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  5D029MA13 ,  5D029MA17 ,  5D121AA05 ,  5D121EE09 ,  5D121EE14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 銀合金、スパッタリングターゲット、反射型LCD用反射板、反射配線電極、薄膜、その製造方法、光学記録媒体、電磁波遮蔽体、電子部品用金属材料、配線材料、電子部品、電子機器、金属膜の加工方法、電子光学部品、積層体及び建材ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-160051   出願人：株式会社フルヤ金属