特許
J-GLOBAL ID：200903021552416689

マイクロバルブ

発明者：
金山 斎

金山 斎 について

, 
大矢 信之

大矢 信之 について


出願人/特許権者：
日本電装株式会社

日本電装株式会社 について


代理人 (1件)： 碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-305251
公開番号（公開出願番号）：特開平7-158757
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：
【要約】【目的】 よりコンパクトで、また高圧流体にも対応可能なマイクロバルブを提供する。【構成】 薄板状の基板10には、吐出孔11が設けられており、その上方に中央部に吐出孔11を開閉する弁体部22を有するシリコンダイヤフラム20が設けられている。シリコンダイヤフラム20の上端面20aには、圧電素子31および弾性体32からなる圧電ユニモルフ30が密着固定されており、シリコンダイヤフラム20を変位させることによりバルブが開閉し、吐出量が制御される。
請求項（抜粋）：
流体が吐出する孔が設けられた基板と、前記孔の開口部を開閉するシリコンダイヤフラムからなるマイクロバルブにおいて、前記シリコンダイヤフラムは、前記基板に当接する固定部と、前記孔に対向し、前記孔の開口部を開閉する弁体部と、前記弁体部が開閉駆動可能なように前記弁体部と前記固定部を連結する薄板状の連結部からなり、前記シリコンダイヤフラムの前記弁体部と相反する面に、薄板状の弾性体を設け、さらに前記弾性体上に圧電素子を設けて圧電ユニモルフを構成したことを特徴とするマイクロバルブ。
引用特許：
審査官引用 (23件)
  • 特開昭62-215175
  • 特開平3-103680
  • 特開平3-103680
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