衝撃波発生装置及び衝撃波を用いた固体物表面の異物除去装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220297
公開番号（公開出願番号）：特開2003-033738
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：

【要約】【課題】安全、かつ、小型化された衝撃波発生装置を提供すると共に、かかる装置にて発生させた衝撃波を有効利用すること。【解決手段】柱状の回転体1と、この回転体1の両端面から外側に向かって当該回転体1の側面と平行に突出する回転軸2と、回転体1に回転軸2を介して所定のトルクを付勢する回転駆動源3と、この回転駆動源3の動作を制御する制御部4とを備え、制御部4が、回転体2の側面の少なくとも一部が大気中における音速以上の速度にて回転するよう回転駆動源3の動作を制御する機能を有する。

請求項（抜粋）：

所定の立体形状を有する回転体と、この回転体の回転中心となる回転軸と、前記回転体に前記回転軸を介して所定のトルクを付勢する回転駆動源と、この回転駆動源の動作を制御する制御部とを備え、この制御部が、前記回転体の回動端の少なくとも一部が当該回転体周辺の条件下における音速以上の速度にて回転するよう前記回転駆動源の動作を制御する機能を有することを特徴とする衝撃波発生装置。

IPC (4件)：

B08B 3/12 , B06B 1/10 , F03G 7/00 , H01L 21/304 641

FI (4件)：

B08B 3/12 B , B06B 1/10 , F03G 7/00 B , H01L 21/304 641

Fターム (8件)：

3B201AA03 , 3B201AA46 , 3B201AB01 , 3B201BC00 , 5D107AA14 , 5D107BB11 , 5D107CC09 , 5D107EE02

引用特許：

審査官引用 (3件)

高圧発生方法とそれを使用した圧縮機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-155771 出願人：株式会社前川製作所
特開昭61-040491
特開昭63-126588

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