特許

J-GLOBAL ID：200903021569770524

超音波洗浄装置

発明者： 塚田 哲 ,  岡野 勝一
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086035
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279888
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物の表面と側面とを同時に洗浄して被洗浄物の清浄度を高めることができるとともに、装置の複雑化、大型化回避し、かつ、洗浄液の少液化を達成することができる超音波励振装置及び超音波洗浄装置を提供すること。【解決手段】 導波体5の発振面5cに一対の突出部5dを設ける。前記突出部5dは、超音波振動の進行方向における断面形状が、直角二等辺三角形であり、外壁面5fが前記発振面5c及び内壁面5eに対して45度の角度になっていることから、前記超音波振動は、前記外壁面5fによって反射されて、基板6の側面6b方向に偏向する。

請求項（抜粋）：

約200kHz以上の超音波振動を発生する振動子と、前記振動子と結合して前記超音波振動を外部負荷に導く導波体とを有する超音波励振装置であって、前記導波体は、前記振動子を有する面と対向する発振面に一体で形成された突出部を備え、前記突出部は、前記発振面側に臨んで設けられて前記発振面に対して垂直な内壁面と、前記超音波振動を前記内壁面側に向けて偏向する外壁面とを有することを特徴とする超音波励振装置。

IPC (4件)：

B06B 1/06 ,  B06B 3/04 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 642

FI (4件)：

B06B 1/06 Z ,  B06B 3/04 ,  B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 642 E

Fターム (16件)：

3B201AA03 ,  3B201AB14 ,  3B201BB77 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB86 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CD22 ,  5D107AA12 ,  5D107AA13 ,  5D107AA16 ,  5D107BB11 ,  5D107CC02 ,  5D107FF01 ,  5D107FF09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 超音波励振装置及びこれを具備した超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-113356   出願人：株式会社カイジョー