超微粒積層膜と、それを有する工具用複合高硬度材料

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-255561
公開番号（公開出願番号）：特開平8-134629
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【課題】超微粒積層膜1を工具の基材2の少なくとも切削に関与する箇所の表面上に有する工具用の高硬度複合材料。【解決手段】超微粒積層膜1が、4a、5a、6a族元素、Al、Si、CおよびBからなる群の中から選択される少なくとも1種の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物を主成分とする少なくとも2種の化合物の層(a、b)を少なくとも2層以上有し、各層(a、b)は超微粒で構成されている。

請求項（抜粋）：

4a、5a、6a族元素、Al、Si、CおよびBからなる群の中から選択される少なくとも1種の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物を主成分とする少なくとも2種の化合物の層を少なくとも2層以上有し、各層が超微粒で構成されることを特徴とする超微粒積層膜。

IPC (4件)：

C23C 14/06 , C01B 21/072 , C04B 41/89 , B23B 27/14

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-120353
特開昭60-234961
特公昭63-019585

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