特許
J-GLOBAL ID：200903021589106469
複合位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070070
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234865
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で装置自身が発生する振動の制振作用を達成し、これにより床からの振動の除振作用を最大限に発揮可能とする複合位置決め装置を提供する。【構成】 除振手段に支持された定盤16と、該定盤上に搭載された各々独立して駆動制御可能な複数台のステージ8と、各ステージを駆動して速度および位置を制御する速度位置制御装置23と、各ステージを駆動する際加速減速の開始時を一致させかつ加速減速時間と駆動力との積である力積の和がゼロとなるように各ステージを同期運転させる同期制御手段24を備える。
請求項（抜粋）：
除振手段に支持された定盤と、該定盤上に搭載された各々独立して駆動制御可能な複数台のステージと、各ステージを駆動して速度および位置を制御する速度位置制御装置と、各ステージを駆動する際加速減速の開始時を一致させかつ加速減速時間と駆動力との積である力積の和がゼロとなるように各ステージを同期運転させる同期制御手段を備えたことを特徴とする複合位置決め装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 L
, H01L 21/30 311 M
